在真空環(huán)境下，選型的核心思路是放棄傳統(tǒng)“相對濕度"概念，轉(zhuǎn)向測量“露點(diǎn)"或“水蒸氣分壓"。選型決策主要基于您的真空度、測量目的和預(yù)算。
核心結(jié)論：電容式高分子薄膜露點(diǎn)傳感器
對于絕大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用和科學(xué)研究，電容式高分子薄膜露點(diǎn)傳感器是默認(rèn)的選擇，因為它實現(xiàn)了性能、可靠性和成本的最佳平衡。
四大主流技術(shù)選型對比，下表清晰地對比了四種主要技術(shù)的特點(diǎn)，幫助您快速決策。
真空濕度傳感器選型決策圖：
遵循以下決策流程，可以幫您快速鎖定適合您需求的傳感器類型：
關(guān)鍵選型要點(diǎn)與注意事項：
1.真空度與量程匹配：
確認(rèn)傳感器的露點(diǎn)測量范圍是否能覆蓋您的真空工藝要求。例如，高真空環(huán)境需要傳感器能測量-80°C以下的露點(diǎn)。
2.安裝與集成：
接口：確保傳感器探頭帶有適合您真空腔體的標(biāo)準(zhǔn)法蘭（如CF、KF、ISO）。
位置：安裝在能代表工藝氣體區(qū)域的位置，避免死角和局部放氣源。
出氣率：傳感器自身材料應(yīng)是低出氣率的，避免污染您的真空系統(tǒng)。
3.校準(zhǔn)與維護(hù)：
真空露點(diǎn)傳感器需要定期校準(zhǔn)以保持精度。詢問供應(yīng)商的校準(zhǔn)周期、服務(wù)和成本。
了解傳感器的預(yù)期壽命和在污染環(huán)境下的穩(wěn)定性。
最終建議：
如果您不確定，就從電容式高分子傳感器開始。它是解決90%真空濕度測量問題。
聯(lián)系專業(yè)供應(yīng)商的技術(shù)支持，如維薩拉或密析爾，提供您的具體工藝參數(shù)（如真空度范圍、工藝溫度、是否存在其他氣體等），他們能為您推薦最合適的型號。
